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EDI又稱為電去離子法,是目前比較先進的生產超純水的方法,原水先經過雙極反滲透處理後,水質中雜質的去除率在99%以上,但要想製造出超純水,除去溶解在水中的微量元素和CO2等雜質,需要通過EDI進一步淨化處理,超純水電導率≤0.1μS/cm,特點是邊再生邊運行,不用停機就可再生。
另外一種生產超純水的方法是陰陽離子交換樹脂混床,通過陽離子樹脂吸收水中的陽離子,陰離子樹脂吸收水中的陰離子,對反滲透處理後的水進一步處理,效果沒有EDI好,並且要經常再生,在再生階段會造成大量的酸堿浪費以及汙染,操作麻煩,但是投資低一些。
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